Ki sa ki 6 etap kle nan fabrikasyon chip?

Nan 2020, plis pase yon billions chip yo te pwodwi atravè lemond, ki egal a 130 chips posede ak itilize pa chak moun sou planèt la.Men, menm si sa, mank chip ki sot pase a kontinye montre ke nimewo sa a poko rive nan limit siperyè li yo.

Malgre ke bato yo ka deja pwodui sou yon echèl gwo, pwodwi yo se pa yon travay fasil.Pwosesis fabrikasyon chips yo konplèks, e jodi a nou pral kouvri sis etap ki pi enpòtan yo: depozisyon, kouch fotorezist, litografi, grave, enplantasyon iyon, ak anbalaj.

Depozisyon

Etap depo a kòmanse ak wafer la, ki koupe soti nan yon silenn silikon pi bon kalite 99.99% (yo rele tou yon "lingo Silisyòm") ak poli nan yon fini trè lis, ak Lè sa a, yon fim mens nan kondiktè, izolasyon, oswa materyèl semi-conducteurs depoze. sou wafer la, tou depann de kondisyon yo estriktirèl, pou ke premye kouch la ka enprime sou li.Etap enpòtan sa a souvan refere yo kòm "depozisyon".

Kòm chips vin pi piti ak pi piti, modèl enprime sou wafers vin pi konplèks.Avans nan depo, grave ak litografi yo se kle pou fè chips toujou pi piti epi konsa kondwi kontinyasyon Lwa Moore a.Sa gen ladann teknik inovatè ki sèvi ak nouvo materyèl pou fè pwosesis depozisyon an pi presi.

Kouch fotorezist

Lè sa a, wafer yo kouvwi ak yon materyèl fotosensib ki rele "photoresist" (yo rele tou "photoresist").Gen de kalite photoresists - "photoresists pozitif" ak "photoresists negatif".

Diferans prensipal ant fotorezist pozitif ak negatif se estrikti chimik materyèl la ak fason fotorezist la reyaji nan limyè.Nan ka fotorèsist pozitif, zòn nan ekspoze a limyè UV chanje estrikti epi li vin pi idrosolubl, konsa prepare li pou grave ak depo.Photoresist negatif yo, nan lòt men an, polymerize nan zòn ki ekspoze a limyè, ki fè yo pi difisil yo fonn.Photoresists pozitif yo ki pi itilize nan fabrikasyon semi-conducteurs paske yo ka reyalize pi wo rezolisyon, fè yo yon pi bon chwa pou etap la litografi.Gen kounye a yon kantite konpayi atravè mond lan ki pwodui fotorezistans pou fabrikasyon semi-conducteurs.

Fotolitografi

Fotolitografi enpòtan anpil nan pwosesis fabrikasyon chip la paske li detèmine ki jan ti tranzistò yo sou chip la kapab.Nan etap sa a, yo mete wafers yo nan yon machin fotolitografi epi yo ekspoze a gwo limyè iltravyolèt.Anpil fwa yo gen plizyè milye fwa pi piti pase yon grenn sab.

Limyè pwojte sou wafer la atravè yon "plak mask" ak optik litografi (lantiy sistèm DUV la) retresi epi konsantre modèl sikwi ki fèt sou plak mask la sou fotorezist la sou wafer la.Jan sa te dekri anvan an, lè limyè a frape fotorezistans la, yon chanjman chimik rive ki anprint modèl la sou plak mask la sou kouch fotorezist la.

Jwenn modèl ekspoze a egzakteman se yon travay difisil, ak entèferans patikil, refraksyon ak lòt domaj fizik oswa chimik tout posib nan pwosesis la.Se poutèt sa pafwa nou bezwen optimize modèl ekspoze final la pa espesyalman korije modèl la sou mask la pou fè modèl enprime a gade jan nou vle li.Sistèm nou an sèvi ak "litografi enfòmatik" pou konbine modèl algoritmik ak done ki soti nan machin litografi ak tès wafers pou pwodwi yon konsepsyon mask ki konplètman diferan de modèl ekspoze final la, men se sa nou vle reyalize paske se sèl fason pou jwenn modèl ekspoze vle.

Gravure

Pwochen etap la se retire photoresist degrade a revele modèl la vle.Pandan pwosesis "grave", wafer la kwit epi devlope, epi kèk nan fotorezist lave pou revele yon modèl 3D chanèl louvri.Pwosesis la grave dwe fòme karakteristik kondiktif jisteman ak konsistan san yo pa konpwomèt entegrite an jeneral ak estabilite nan estrikti chip la.Teknik avanse gravure pèmèt manifakti chip yo sèvi ak modèl doub, quadruple ak spacer ki baze sou yo kreye ti dimansyon yo nan konsepsyon chip modèn.

Menm jan ak fotorezistans, grave divize an kalite "sèk" ak "mouye".Gravure sèk itilize yon gaz pou defini modèl ekspoze sou wafer la.Mouye grave itilize metòd chimik pou netwaye wafer la.

Yon chip gen plizyè douzèn kouch, kidonk grave yo dwe ak anpil atansyon kontwole pou evite domaje kouch ki kache nan yon estrikti chip milti-kouch.Si objektif la nan grave se kreye yon kavite nan estrikti a, li nesesè asire ke pwofondè nan kavite a se egzakteman dwa.Gen kèk desen chip ki gen jiska 175 kouch, tankou 3D NAND, fè etap la grave patikilyèman enpòtan ak difisil.

Ion piki

Yon fwa ke modèl la grave sou wafer la, wafer la bonbade ak iyon pozitif oswa negatif pou ajiste pwopriyete kondiktif yon pati nan modèl la.Kòm yon materyèl pou wafers, Silisyòm materyèl bwit la se pa yon izolasyon pafè ni yon kondiktè pafè.Pwopriyete kondiktif Silisyòm tonbe yon kote nan mitan.

Dirije iyon chaje nan kristal Silisyòm pou koule elektrisite ka kontwole pou kreye switch elektwonik ki se blòk bilding debaz chip la, tranzistò yo, yo rele "yonizasyon", ke yo rele tou "enplantasyon ion".Apre yo fin kouch nan ionize, fotorezist ki rete yo itilize pou pwoteje zòn ki pa grav la retire.

Anbalaj

Dè milye de etap yo oblije kreye yon chip sou yon wafer, epi li pran plis pase twa mwa pou ale soti nan konsepsyon nan pwodiksyon an.Pou retire chip la nan wafer la, li koupe an bato endividyèl lè l sèvi avèk yon dyaman wè.Chips sa yo, yo rele "mouri toutouni," divize nan yon wafer 12-pous, gwosè ki pi komen yo itilize nan fabrikasyon semi-conducteurs, epi paske gwosè chips yo varye, kèk wafers ka genyen dè milye de chips, pandan ke lòt yo gen sèlman kèk. douzèn.

Lè sa a, wafers fè sa yo mete sou yon "substra" - yon substra ki sèvi ak papye metal yo dirije siyal yo opinyon ak pwodiksyon soti nan wafer la fè nan rès la nan sistèm nan.Lè sa a, li kouvri ak yon "koule chalè", yon ti, plat metal veso pwoteksyon ki gen yon awozaj asire ke chip la rete fre pandan operasyon an.

plen-otomatik 1

Konpayi Profile

Zhejiang NeoDen Teknoloji co, Ltd te fabrike ak ekspòte divès kalite ti pick and place machin depi 2010. Pran avantaj de pwòp nou rich eksperyans R & D, pwodiksyon byen antrene, NeoDen genyen gwo repitasyon nan men kliyan yo atravè lemond.

ak prezans mondyal nan plis pase 130 peyi, pèfòmans ekselan, gwo presizyon ak fyab nan NeoDenPNP machin yofè yo pafè pou R & D, pwototip pwofesyonèl ak ti pwodiksyon pakèt mwayen.Nou bay solisyon pwofesyonèl nan yon sèl kanpe SMT ekipman.

Ajoute: No.18, Tianzihu Avenue, Tianzihu Town, Anji County, Huzhou City, Zhejiang Province, Lachin

Telefòn: 86-571-26266266


Tan poste: Apr-24-2022

Voye mesaj ou a ban nou: